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    1. 超高真空微型光柵尺-SMG26系列

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      超高真空微型光柵尺-SMG26系列

      超高真空光柵尺SMG26系列-微型光柵特點:

      光柵尺體積小,結構緊湊;適用于超高真空使用;良好的耐高溫性,高可達100°C;精度高,精度±3μm(20°C);采用玻璃柵尺,膨脹系數小,讀數穩定性良

      好;分辨率高,配合TF15細分接頭,讀數分辨率可達4nm;安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)。

       

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