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    1. SEM納米探針臺

      SEM納米探針臺

      該產品實現了三維空間上的準確定位,它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應用于在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。

      該產品使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內達到亞納米分辨率的定位。

      三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現微納操縱和測量的目的。

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