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    1. 壓電納米位移臺

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      壓電納米位移臺

      壓電陶瓷電機是最近20年發展起來的新技術。使用壓電陶瓷電機的定位產品,結構簡單,尺寸緊湊,可以在數十毫米范圍內實現納米級別的最小步長,從而解決了傳統納米臺行程不足,而微米電動臺分辨精度不高的問題。 卓聚科技率先在國內研發出能產品化的壓電陶瓷電機線性位移平臺和旋轉臺等超精密位移產品,性能指標達到國際先進水平,填補了此領域的國產產品空白??蓮V泛應用于半導體芯片、光通訊、生物醫療、電子顯微、先進制造、科學研究等領域。
      SEM納米探針臺

      SEM納米探針臺

      SEM納米探針臺實現了三維空間上的精確定位,它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應用于在SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。
      壓電多軸納米位移臺

      壓電多軸納米位移臺

      壓電多軸納米位移臺,多個納米位移平臺組合而成的多軸運動和定位產品,包括2軸,3軸、4軸、5軸等,形式多樣,可根據需求定制。
      壓電旋轉納米位移臺

      壓電旋轉納米位移臺

      壓電旋轉納米位移臺,可以360度旋轉平面,由高分辨率壓電馬達驅動。提供開環和閉環版本。
      壓電直線納米位移臺

      壓電直線納米位移臺

      直線運動納米壓電馬達位移平臺提供行程從±7.5mm到±92mm的不同規格的標準化產品,移動分辨率最小可達0.05nm。提供開環和閉環控制版本、大氣和真空兼容版本。
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